La serie Atom Z5 está conformada por cinco procesadores basados en la tecnología high-k de Intel específicamente diseñados para dispositivo portátiles de internet, netbooks, y otros aparatos de mano. Los cinco modelos tiene un cache L2 de 512MB, un FSB de 400 o 533MHz, y frecuencias que van de los 800MHz (Z500) a los 1,86GHz (Z540). El TDP de estos chips varía de 0,65W a 2,4W, mientras que sus precios oscilan entre $45 por los dos modelos más básicos y $160 por el Z540. Cuadroocomparativo procesadores:
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